第277章 曆史性時刻 “人員都已經到齊了，可以隨時開始測試。”光電技術研究所徐昀身穿著專門的研究服，安排妥當後向身旁科學院院長侯盛昌彙報。 同樣穿著研究服的侯盛昌，聞言立刻抬手道：“你是項目負責人，按照自己的安排進行即可，我這次過來主要是旁觀。”說話的語氣很是柔和，絲毫沒有要喧賓奪主進行指揮的意思。 當初他看中徐昀的實力，親自前往京州大學邀請其負責光刻機項目。 到今天不過才一年多的時間。 但收獲卻甚是巨大。 徐昀帶領光電技術研究所項目團隊，成功製造出了國內首台極紫外光刻機。 具備深遠意義。 可以說是讓國產半導體領域邁入了新的裡程碑。 得知首台極紫外光刻機就要進行芯片測試時，他幾乎沒有任何遲疑，第一時間推掉了後麵的行程乘坐飛機從帝都趕到錦城。 作為如此重要的時刻，他這個院長肯定要親眼見證這偉大的一幕。 徐昀知道侯盛昌的性格，自然不會在這種小事上去想太多，當即嘴角噙著笑容應聲回答。 “我明白了院長。” 說完便對工作人員下令道：“開始吧。” 與此同時堅守現場的羅長輝楊靖等人，儘管都穿著專業服裝，卻難掩心中的興奮和激動。 他們作為研發光刻機的老人，不知多少次做夢都想看到國產極紫外光刻機，如今這個夢想眼看就要徹底變成能夠觸摸的現實，想依舊保持內心的平靜和沉默，那實在是太難了。 甚至就連侯盛昌的呼吸都急促起來。 不過越是這個時候，大家心底那絲擔憂的情緒就越發強烈。 倒不是說不信任自己這麼長時間做出來的成果，隻是事情沒到最後一刻任何事都有可能發生。 確實難以把心徹底放下。 此次測試關乎整台光刻機的性能，隻有通過測試才能進行到下一個交付環節，否則便要重新優化調試檢查問題所在。 但局麵變成這樣的話，就不知道中間要消耗多長的調試時間。 肯定無法按照之前公開的時間交付光刻機，到那個時候半導體領域勢必進一步惡化。 這種情況絕對是在場所有人都不希望看到的。 因此隨著徐昀正式下達命令後，所有人都全神貫注耐心等待最終結果。 2021年6月5日，這對於國內半導體領域絕對是無比重要的一天。 研究所內由幾十萬零部件組成的精密儀器讓人很難能移開目光，在這一刻仿佛已經形成了藝術品。 同時其價值也是普通人難以想象的。 不誇張的講，一台極紫外光刻機的售價都高達幾十億美刀。 而徐昀采用全新核心技術研發的這台光刻機，相比阿斯麥成本上要低不少。 這點也算是國產極紫外光刻機的優勢。 如果將來相互競爭的話，那麼對方將很快失去原有的競爭力。 關於前期的材料準備工作早已經完成，製作成的芯片級單晶矽棒已經被切成薄片，變成高純度的芯片級矽片也就是晶圓。 想要將晶圓製作成芯片，首先需要準備的是光刻掩膜版。 其作用是將芯片的功能模塊電路係統以及物理結構地圖繪製在印刷母版上，如此才能開始後麵芯片的批量製造生產。 此次測試的芯片正是人工智能實驗室和華威技術共同設計的智能汽車芯片。 實驗室負責人顏愷明將之命名為靈思。 為7納米工藝芯片。 這時徐昀侯盛昌羅長輝等人已經來到這台極紫外光刻機主控係統。 能看到晶圓即將進入下一個光刻階段。 待這台龐大精密半導體設備運行時，徐昀則在旁邊向侯盛昌介紹。 “院長。” “這次製造的芯片是一款智能汽車芯片，由深度科技旗下的人工智能實驗室和華威技術設計。” “並且還是使用的應龍EDA。” 說到最後這件事時，徐昀特意加重了語氣。 之前新思楷登這幾家海外EDA巨頭公司宣布限製他們使用軟件的時候，侯盛昌就說過不需要擔心，已經有公司再開發國產EDA軟件。 可見他對華威的應龍EDA項目是比較了解的。 不過在聽到這句話後，他眼神中還是不可避免的閃過了些許意外。 下秒側過臉問道：“應龍項目已經完成並且實際開始應用了嗎？” 顯然這件事很是驚訝。 當然這件事也不能怪他，誰會想到華威方麵選擇大膽嘗試借助人工智能模型輔助軟件開發後，會使整個開發效率提高這麼多。 否則就算首台極紫外光刻機能交付使用，隻怕應龍EDA還不完善。 對於這件事倒也沒有隱瞞的必要，徐昀稍作思考便組織好語言解釋。 “是的院長。” “早在年前應龍EDA項目就已經完成。” “那麼快？”侯盛昌驚呼。 徐昀微笑著解答：“這是因為他們借助了人工智能模型笨笨的輔助。” “原來如此。”侯盛昌聞言立刻想明白了中間情況。 眼下根據笨笨複製來的人工智能深海，已經逐步運用到各種領域上，並且發揮出了遠超人類的能力，輔助軟件開發自然不算什麼。 這點侯盛昌還是有一定認知的。 “太好了。” “如此我們的芯片製造產業鏈就能完全解決，今後不再有什麼掣肘了。” 隨即他想到這個情況帶來的作用，臉上的笑容頓時又盛了幾分。 周圍其他人雖沒開口發言，但從神情來看心情也都算不錯。 儘管到現在測試才算剛剛開始，可看到徐昀這波瀾不驚信心十足的狀態，倒是讓他們都平複了許多。 進行光刻前晶圓一般要通過高溫加熱方式其表麵產生氧化膜，作為光導纖維便於後續的光刻流程，這也就是所謂的覆膜。 晶圓完成這項流程後，接下來便是塗抹光刻膠。 值得一提的是，這可不是霓虹那邊公司生產出來的高端光刻膠。 而是來源自徐昀碰巧合成的全新光刻膠，檢測表現出來的數據遠遠超過對方。 關鍵成本方麵更加低廉。 不過由於先前國內並不具有高端光刻機，所以一直沒有辦法實際測試。 今天總算能代替其真正價值。 隻要表現的足夠穩定，那麼接下來便可以批量生產保證芯片的製造。 對此侯盛昌則最為高興，想到因為徐昀科學院在光刻膠領域節省了大量時間和金錢，便讓人心情舒爽。 要知道光刻膠可也是芯片製造中的重要環節，是必須要攻克的存在。 以往國內沒有高端光刻機，也就未朝高端光刻膠領域過多發展。 進行研究的皆以低端光刻膠為主。 根本無法使用在光刻機上。 幸好徐昀機緣巧合下合成出了全新光刻膠，否則空有光刻機沒有高端光刻膠，照樣無法完成今天的測試。 哪怕成功交付，也解決不了半導體領域問題。 畢竟就算立刻投入大量精力去研究，也不見得能在短時間內研發出高端光刻膠。 “這次可要感謝徐教授的光刻膠啊，要不然今天的測試就隻能進行到這步了。” 或許是侯盛昌心情不錯，這個時候也不忘提起徐昀眼神中滿是喜愛。 再一次為自己讓徐昀擔任項目負責人的重大決定感到慶幸。 說起來當初也正是徐昀的光刻膠在全球引起比較大的言論熱度，他這才下定決心邀請徐昀過來研發首台國產極紫外光刻機。 這時旁邊的羅長輝也忍不住說：“徐教授的光刻膠確實解決了我們很大問題。” 徐昀聽著兩人給自己戴高帽，心裡也是哭笑不得。 當即開口回應道：“畢竟是新型光刻膠，具體能否達到穩定的效果，暫時還不得而知呢。” & 他這話自然不是謙虛。 這種新型光刻膠從研發出來並沒有經過實際的高端芯片測試，且目前生產出來的存量也有限，很多地方確實需要看最終結果。 比如對於晶圓廠來說最重要的成品率。 如果使用這種光刻膠光刻的芯片殘次率較大，那就算光刻膠成本很低，也絕對不會繼續使用。 這也是新型光刻膠很難在國際上有市場的原因。 基本晶圓廠絕對不會冒險。 否則所造成的損失將直接影響到利潤。 侯盛昌這會顯然已經對徐昀無比信任，聞言伸手拍了拍徐昀的肩膀寬慰道：“沒有你就沒有國產極紫外光刻機的今天，要多給自己點自信才行。”似乎絲毫不覺得今天測試會有問題。 隨即光刻機將極紫外光通過鏡片，照在前麵準備好的集成電路掩膜版上。 將設計師繪製好的電路圖曝光在晶圓上。 後麵則需要溶解光刻膠。 使光刻過程中曝光在紫外線下的光刻膠被溶解掉。 清除後留下的圖案和掩模上的一致，再進行蝕刻。 儘管到這一步已經非常繁瑣，可後續還需經過離子注入電鍍拋光覆蓋層數，直至製造出布滿芯片的晶圓。 雖然這個等待的過程比較枯燥，徐昀侯盛昌等人卻沒有絲毫的不耐煩。 在晶圓參考電路圖案和每一塊芯片進行對比測試後便開始切片。 並丟棄瑕疵芯片。 餘下芯片經過封裝再次測試後，便能包裝發貨。 把整個流程全部跟下來，可以確定光刻機的各項功能和運行都沒有問題，在設計時的理想參數範圍內。 雖不知道長期運行後會有什麼變化，起碼現在通過了測驗。 接下來則隻需要確定芯片的瑕疵率，以及生產出的芯片最終性能。 如果都沒有問題的話，便能夠正式對外界宣布首台國產極紫外光刻機交付。 相信解釋肯定會引起全球的轟動。 “拿到最終芯片測試數據還要等些時間，院長還是先去休息室吧。” 徐昀稍微鬆了口氣，特意對身旁的侯盛昌說。 眼下該看的東西都已經看完，接下來光刻機也會自行運轉工作，倒沒必要繼續留在原地等待。 “放心吧院長，肯定不會有問題的。”聞言旁邊的羅長輝也接過話茬附和道。 侯盛昌年紀雖然在這放著，可麵對讓人魂不守舍的極紫外光刻機，他寧願多駐足會欣賞這個大家夥。 可想到結果出來還要些時間，而他剛好有其他事情告訴項目組，便不再遲疑當即點頭答應下來。 “那好吧。” 隨著侯盛昌鬆口，在徐昀的帶領下便一起前往不遠處的休息室。 由於其他人還要盯著主控係統記錄數據，此刻休息室內除了徐昀和侯盛昌外，隻有羅長輝院士和楊靖研究員兩個人。 國產極紫外光刻機進展迅速，眼看就能正式交付使用製造芯片。 這使得大家的心情都很不錯，連帶休息室的氛圍都輕鬆了不少。 “這次可要好好看看海外那些家夥的臉，無論如何他們也不會想到我們的進度會這麼快。” “等我們宣布這個消息，相信全球都會動容的。”楊靖這時接過羅長輝的話微笑著補充了句。 身邊侯盛昌也是滿臉笑容：“這一天的到來確實很值得期待。” “已經不遠了。” 心情從來沒有像今天這麼高興。 聽著眾人的談話，徐昀要說不高興那絕對是假的。 不過說實話他的心思卻不在這上麵。 國產極紫外光刻機的研發成功已經是板上釘釘，基本不會出現什麼狀況。 可以說他是否繼續留在錦城都已經無所謂了。 按照他的計劃，是等光刻機測試結束後，便立刻返回京州市。 這幾個月時間內他雖說經常回京州陪陳詩禾，但總共時間並不算多。 而陳詩禾的預產期是在八月份，剩下的時間裡他自然想一直待在陳詩禾身邊。 他知道陳詩禾身邊有她父母和母親在，並不會有什麼事情，並且陳詩禾也多次讓他以項目為主，不過他很清楚陳詩禾內心肯定是希望他在身邊的。 就在他思索著這些時，隻聽坐在中間沙發上的侯盛昌突然又開口提起一件事。 “對了，還有件事要告訴你們。” 此話一出包括徐昀在內羅長輝楊靖都同時抬起視線向侯盛昌看去。 想知道侯盛昌口中的事情是什麼。 對此侯盛昌倒也沒有賣關子，當即便沉聲講起來。 “阿斯麥公司的首席技術執行官托尼諾教授，要來我們科學院交流光刻機研發技術，這件事院裡已經同意並把交流地點訂在你們所。” “阿斯麥的首席技術執行官？” “要和我們交流學習？” 幾乎是侯盛昌的話音剛落，旁邊的楊靖便有些控製不住情緒下意識喊了兩句。 腦海中更是浮現出大量問號。 主要以往阿斯麥作為全球最頂尖光刻機公司，就算想購買他們高端光刻機都不可能，更不要說什麼交流學習研發技術了。 對此感到詫異也實屬正常。 羅長輝聽到這個消息儘管表情有些動容，但很快便恢複正常。 隨即講出自己的判斷。 “阿斯麥此舉恐怕是令有意圖吧，我可不相信他會和我們分享光刻機研發技術。” “你們猜的不錯。”侯盛昌對兩人點點頭表示認可，然後又把目光放到徐昀身上問：“我看你似乎並不意外，有什麼想法說說看。” 侯盛昌說的確實沒錯。 徐昀對於這個消息並沒有表現出什麼意外之色。 甚至這完全在預料之內。 畢竟他的存在在科學界是非常特殊的，短短幾年時間便給很多領域帶來了改變，先前更是公開表示要在今年交付首台極紫外光刻機，這種做法肯定會引起阿斯麥公司的擔憂。 哪怕他們不相信這件事能夠成功，心裡多少會有些憂慮。 這種情況下主動派人過來接觸也正常。 可惜隻能說對方打錯了主意，眼下國產極紫外光刻機已經研發成功，倒也不怕讓對方知道。 念頭停留在這裡，徐昀當即微笑著說：“對方這時候突然派人來交流學習，無非是想確認我們有沒有成功研發出極紫外光刻機。” “既然他們那麼想知道，那就乾脆滿足這個願望。” “說的不錯，院裡也正是這個想法。”侯盛昌對徐昀的分析非常滿意，臉上堆出的笑容越發燦爛。 接下來徐昀和羅長輝又向侯盛昌多了解了些關於這位首席技術執行官的資料。 得知對方過兩天就會到達帝都，然後來到錦城。 麵對這種情況，徐昀肯定要等接待完這位技術執行官後再返回京州市。 反正光刻機的測試是個長時間的活，接下來都會處在運行狀態製造靈思智能汽車芯片，如此徐昀反倒越發期待這位技術執行官的到來，不知道對方在看到這台能夠製造7納米芯片的極紫外光刻機後，會是一種怎麼樣的特殊心情。 剛好能夠借助阿斯麥這家巨頭公司，徹底打開國內半導體領域在全球的地位。 隨後不知道過去多久，突然傳來的敲門聲使得幾人精神猛地一震。 幾乎沒有任何遲疑，立刻便喊道：“進來。” 作為研究員助理的博士後劉星推門進來，手中拿著份沒有裝訂的文件，還算俊朗的臉龐上此刻洋溢著興奮激動的喜悅。 看到這裡沒等劉星彙報情況，已經從沙發上站起身的侯盛昌便追問道：“是不是芯片測試有結果了？” “是的院長。” “根據測試數據，這批晶圓出現的芯片瑕疵率在正常範圍內。” “並且芯片性能沒有任何問題。” 劉星快速講完這些重要信息，能看到侯盛昌羅長輝楊靖幾人總算鬆了口氣…… 感謝紮針好得快的500點幣打賞！ (本章完)