第264章 等一個大驚喜 時間很快進入到六月份，極紫外光刻機項目全部成員再次被徐昀震撼到，哪怕心裡麵已經有了準備還是被驚的說不出話。 如果前兩次會議隻是單純驚訝難以相信，那麼這回則是屬於超出了自己的認知。 本來徐昀規劃好項目接下來的方向後，他們便開始著手研究光源。 儘管大家都知道很有難度，但或許是因為徐昀的加入儘皆充滿鬥誌和激情，想要用自己的能力為項目進展做出貢獻。 可沒想到事情的發展超出了所有人預料。 這才剛過去十幾天，徐昀便再次召開項目會議。 剛開始他們還以為是進一步討論光源的研究，結果會議上徐昀竟直接拿出了具體方案。 並且經過研究確認，可行性非常高。 “這份關於光源的製作方案是我設計出來的，我認為它的功率足以滿足高端光刻機需要，接下來我們應該儘快將此光源製造出來展開測試。” 會議室內徐昀看著正在看手中資料的眾人，麵色平靜的說出這番話。 那天他用大腦超頻解決光源問題，便立刻將腦海中的方案書寫出來。 並在完成後第一時間召開項目會議宣布這件事。 放在以前他突然拿到這個光源設計方案肯定會引起外界非常大的轟動，甚至真要懷疑他是不是意外得到了外星文明擁有的技術。 被調查監控都有可能。 但現在他早已向外界展示出了自己的實力，他是有能力解決光刻機問題的。 所以倒也不必故意多耽擱些時間。 此刻會議室內所有人的注意力都集中在文件上，甚至都不知道是否聽見了徐昀的話，總之絲毫沒有掩飾臉上流露出的詫異和震撼。 包括身為院士的羅長輝。 將大家的反應看在眼裡，徐昀知道他們不從現有狀態脫離出來的話，他說的任何話估計都聽不進去。 在這種情況下儘管有些哭笑不得，但也隻好選擇閉口不言。 暫時保持沉默。 就這樣不知多長時間過去，才見羅長輝率先停下動作抬起視線。 “你準備采用氟化氙光源方案？” “沒錯。”徐昀點頭回答。 他耗費積分得到的光源製造方向正是氟化氙光源。 相比市麵上常見的其它光源，氟化氙光源性能更優適合用於光刻。 不過其製作難度較大。 國內始終沒有解決此光源麵對的問題。 羅長輝顯然很清楚各種光源的情況，因此看到文件中內容後便基本確定很大概率是可行的。 也就是說隻要他們按照這份文件中的設計方案來製造氟化氙光源，那麼就有可能成功，如此便相當於徹底解決了高端光刻機的光源問題，大幅度縮短國產高端光刻機的研發進度。 但他最震撼的，還是設計方案出自徐昀之手。 他可以確定徐昀在加入項目成為負責人前，應該是沒有係統性研究過光刻機的。 也就是說徐昀在短短十幾天內，不但確定了研究方向還完成了方案。 簡直就是妖孽。 儘管早就聽說徐昀的天賦非常強大，連續創造出了多項不同領域內的奇跡。 不過這並沒有什麼清晰概念。 而現在他見識到了。 強行壓製住內心無比的激動，他再次確認道：“這份方案是你寫出來的？” “雖然還沒有進行實際測試，但我覺得這項理論是可行的。” 徐昀麵色平靜回複一句，接著又反問道：“羅院士以為這項理論能行嗎？” “可以試一試。”羅長輝沉聲答道。 就目前而言他們並沒有其它成熟的光源方案，徐昀的氟化氙光源確實是最佳選擇。 加上文件中的理論非常詳細，真著手去製造的話用不了多長時間便能得到穩定的氟化氙光源，屆時是否能滿足光刻機要求，隻需要測試出光源可以穩定發出的功率就行。 真要成功的話，國產極紫外光刻機便相當於攻克一項重大難題。 是突破性的進展。 關鍵距離新極紫外光刻機項目成立還沒多久。 當然就算失敗了也沒關係。 權當積累經驗。 他們兩人的對話進行到這裡，旁邊研究員楊靖教授也終於回過神來，臉上浮現出溢於言表的笑容。 “這份方案太棒了，我敢肯定隻要按照上麵的去做肯定能製造出功率強大穩定的氟化氙光源。” 隨著他的話音落下，其他幾位研究員也像是被打開了話匣子紛紛開口表態。 “我暫時沒發現有什麼漏洞。” “方案理論是可行的，我們應該立刻嘗試實驗。” “院裡邀請徐教授您來擔任項目負責人簡直是非常正確的決定，這才多長時間您就已經有了極紫外光刻機光源的解決方案。” 將幾位研究員的話聽進耳朵，徐昀臉上浮現出淡然笑容稍微謙虛了句。 “我之前對光源有過相關研究，這項方案說實話也沒有百分百的把握。” “彆說百分百的把握，哪怕隻有一點把握都值得我們去嘗試。”羅長輝這時候情緒也平靜了下來，接過話茬開口補充了句。 光電技術研究所很早就開始研發光刻機，奈何相比海外始終落後大截。 根本不具備製造高端芯片的能力。 其中對光源的研究更是有局限，很難提升光源的功率並且保證穩定輸出。 絲毫不誇張的講，若不是有徐昀加入項目組，就憑氟化氙光源都要讓他們研究許久。 畢竟能製造出氟化氙光源沒啥厲害的，關鍵要能保證功率和持續性的穩定輸出。 無法保證光源穩定的話，功率最大值哪怕再大都無法用於極紫外光刻機。 單憑這點便足以證明徐昀的實力。 但要說會議室內此刻誰的情緒波動最大，那肯定屬劉星和另外幾位博士後研究員助理。 就差把心裡想法寫到臉上。 因為徐昀並沒有把方案複製太多份，剛才也就隻有羅長輝等幾位研究員看到。 突然看見包括羅長輝在內的研究員在看完文件後都是這麼個反應，他們心裡難免會感到非常好奇，尤其後麵聽到和光源有關，情緒波動的更加激烈知道這絕對是個大消息。 最終隻見劉星率先按耐不住，投過視線主動向徐昀詢問起來。 “那個徐教授，這份方案我們可以看嗎？” 徐昀自然沒有忘記他們這些研究員助理，既然都屬於項目組成員肯定有知情權。 再說大家一起努力才能加快進度。 本來他是打算會議結束後在讓各研究員去說，既然都那麼期待提前也沒關係。 念頭停留在這裡徐昀並沒有遲疑什麼，當即拿起自己麵前的方案遞了過去：“你們現在想看那就看吧。” “謝謝徐教授。” 劉星並沒有在這種時候選擇推辭，聞言連忙走上前接過文件和身邊人分享。 能進入到光學技術研究所博士後流動站，劉星等人可不見得有多麼差勁，和楊靖等研究員相比無非是經驗和資曆上的差距。 對於文件中的內容自然會有自己的判斷，知道是否具備實驗價值。 可能是找到光源研究方向心情比較高興緣故，羅長輝楊靖等研究員並沒有表現出不耐煩，而是耐心等待劉星和其他博士後大致看完文件。 不知過去多久，劉星率先回過神來，把文件遞給身旁的人後立刻看向徐昀。 目光中滿是敬佩和激動。 “徐教授您太厲害了，沒想到那麼快就有了氟化氙光源的製作方法。” 話音剛落，其餘人也不甘示弱紛紛開口。 “沒想到還可以用這種方法來解決氟 解決氟化氙光源的製造難度問題，我以前竟然沒有任何這方麵的想法。” “有了這份方案，我們是不是很快就能製造出穩定的光源。” “我已經迫不及待想參與實驗了。” 而這時沒等徐昀開口回答，坐在旁邊的羅長輝主動出聲講道：“現在可還不是我們值得慶祝的時候，起碼要得到詳細的氟化氙測試結果才行，接下來大家先暫時停止手上的事情，全力製造氟化氙光源裝置。”能看出他整個人的激情已經被調動出來。 羅長輝所說的事情正是徐昀接下來的安排，因此便順著補充了句。 “那麼今天的會議就到這裡，接下來的時間我想大家應該要有的忙了。” 說完會議也正式結束。 今天把項目成員都喊過來參加會議，主要是商議氟化氙光源製造方案的事，眼下方案已經集體通過，那自然沒必要繼續浪費時間。 何況相信大家經過剛才的事情後，都已經迫不及待想動手了。 畢竟自己能參與到國產首台極紫外光刻機誕生可是件充滿榮耀的事。 當然實際情況也正是如此。 會議結束後在徐昀的帶領下，大家都被安排任務。 立刻著手氟化氙光源的製造。 —— 和從零開始製造氟化氙不同，前者需要不斷試錯承擔功率較小或者無法長時間保持穩定輸出的結果，這個過程除了需要大量投入外，還非常浪費時間並且最終得不到任何結果都正常。 但徐昀他們完全不同。 有那份設計方案作為依靠，這就相當於開卷考試。 他們進行的過程就是把答案抄在試卷上，基本不需要費太多精力。 加上還有徐昀親自參與，幾乎是在六月底的時候研究所成功製造出一個氟化氙光源裝置。 並且為確定是否能用於高端光刻機，當天便對光源的波長功率穩定性等進行了測試。 “雖然我覺得這次我們肯定能成功，但不知怎麼心裡還是有些緊張。” 2020年6月22日，錦城，光電技術研究所極紫外光刻機項目。 光源測試實驗室外麵，穿著白色研究服的楊靖來回邁著步伐顯得有些不安，儘管表麵上故作鎮定，但臉上隱藏不了的小表情還是把真實感受暴露。 這段時間在參與了光源的製造後，他更加堅信徐昀方案的可行性。 認為極紫外光刻機的光源問題已經解決。 可眼看最終的光源測試結果就要出來，心裡多少還是有些忐忑。 相比坐不住的楊靖，羅長輝明顯鎮定許多，坐在旁邊椅子上還不忘打開杯子喝茶。 “把心態放平和，既然選擇了相信徐教授，那就耐心等待結果。” “我這不是害怕嘛。”楊靖聽到羅長輝這話有些不好意思。 好歹他也是半截身子入土的研究員教授，遇到事情表現的還不如那些博士後，確實多少有些不太妥當。 不過話是那樣說，但試問又有幾個能真正做到波瀾不驚。 俗話說見過了光明便再難接受黑暗，徐昀的光源方案讓他們看到了希望，屬於國產極紫外光刻機終於能交付使用的希望。 若最終測試出的結果無法達到要求，那麼這些天的努力都將白費。 儘管科學研究本就不應懼怕失敗，但對於項目成員肯定是個不小的打擊。 楊靖沒有再回應羅長輝的話，而是把目光投向了同樣麵色平靜的徐昀，稍作遲疑還是嘴唇輕啟詢問了句。 “徐教授。” “你說這次我們能成功嗎？” “當然會成功。”徐昀聞言迎上對方的眼神非常堅定的回答。 好歹這也是他耗費150積分推導出的方案，自然有著百分百的把握。 可以說出現特殊狀況的概率基本不存在。 正因如此他才全程保持著平靜，壓根沒有擔心。 甚至要不是楊靖主動詢問，他甚至都不打算多說一句話。 但該說不說楊靖聽到徐昀這話鎮定不少，顯然是出於對徐昀的信任選擇相信光源的測試結果。 就這樣大概又過去十多分鐘的時間，隻見穿著研究服的劉星終於從裡麵走出來，手中還拿著份氟化氙光源的測試數據報告。 幾乎是瞬間大家的注意力便集中在了劉星身上，連羅長輝也猛地站起身來。 而對此劉星卻像是沒注意到其他人似的，徑直走到徐昀跟前把報告遞過去的同時開口彙報。 “徐教授。” “我們的氟化氙光源測試成功了。” “這是詳細數據。” 儘管徐昀早就清楚會是這個結果，聽到這句話還是突然加快了手上動作，迅速查看起上麵的詳細數據。 首先氟化氙光源的波長為13.5納米，滿足極紫外光刻機的要求。 光源工作功率成功達到250瓦，且非常穩定。 也就是說他們製造的氟化氙光源完全能夠使用在極紫外光刻機上，距離首台國產高端光刻機的正式交付使用又往前邁了一大步。 “你們也都看看吧。” 徐昀確定這個結果，又把手中的報告分彆遞給楊靖羅長輝等人。 後者幾人臉上都浮現出激動神情。 “我們真的成功了，這是貨真價實的極紫外光源。” “這些天加班熬夜付出的辛苦都是值得的，海外那些傲慢的家夥肯定不會想到我們的研發會這麼順利。” “全靠徐教授我們才能做到今天這步。” 正在大家都沉浸在這份喜悅中時，絲毫沒有隱藏自己臉上激動神情的劉星，突然當著眾人的麵提出了一個自己的建議。 “徐教授。” “我們要不要立刻宣布這個好消息，讓海外那些人看看我們究竟能不能製造出極紫外高端光刻機。” 這句話也得到了楊靖的同意，同樣附和道：“讓大家知道我們在光源上的重大突破，肯定會非常高興調動出民眾對半導體領域的信任。” 但對此徐昀卻選擇了拒絕。 “這件事先不急。” 搖搖頭表明自己的態度後，他接著又開口進行解釋。 “相比較一個光源上的突破，倒不如等首台國產高端光刻機交付使用後再對外界宣布這個消息，到時候造成的轟動肯定會更大。” “最好能對海外高端芯片製造產業鏈造成巨大影響。” “何況我覺得這天很快就會到來。”沉聲講道這裡徐昀又補充了句。 無論劉星還是楊靖都已經被徐昀折服，自然不會對其決定有所異議。 仔細想想確實不如先把光源上的突破隱瞞下來，等到時候直接給外界一個大驚喜。 不過羅長輝卻從徐昀話中聽出了其他信息，暫時按耐住心中湧現出的莫名激動，連忙開口進行詢問。 “徐教授。” “剛才你說這天很快就會到是什麼意思？” 此話一出也頓時引起了其他人的好奇，都集中注意力等著徐昀的下文。 徐昀倒是沒有要隱瞞的意思，隻不過嘴角先是浮現出一抹意味深長的笑容，眨了眨眼回答道：“就是字麵意思啊，我正在研究投影係統和掩膜方麵的設計方案，估計用不了多久就會有結果。” 既然光源問題已經被徹底解決，那麼接下來自然要著手處理其他兩項問題。 畢竟他現在還剩下不少積分呢。 不得不說他的這句話無疑是一石激起千層浪，再次給了在場眾人一個深深震撼。 主要聽徐昀這話的意思，似乎已經在投影係統和掩膜上有了進展。 如果以前他們或許不會往這方麵想，但是現在嗎…… 就算徐昀說過倆月就能把極紫外光刻機製造出來都不會感到太驚訝。 而震撼之後則是狂喜，想到距離國產高端極紫外光刻機的出現越來越近，如何不讓人感到興奮激動。 (本章完)